展示番号(B01)

ナノ・ミクロを「見る」、「つくる」、「はかる」

　文部科学省「分子・物質総合設計支援・総合解析支援プログラム」の下で、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）と集束イオンビーム加工装置（ＦＩＢ）が導入された。ＳＥＭでは、試料に電子ビームを照射することにより、発生する２次電子を用いた表面構造の観察および発生する特性Ｘ線を用いた元素の特定・元素分布マッピングが可能である。ＦＩＢでは、試料にガリウムイオンビームを照射することにより、微小スケールの切削加工および発生する２次イオンを用いた表面構造の観察が可能である。当日は、装置の説明と観察・加工・分析例を紹介する。

実験棟B09号室
ナノサイエンス支援（SEM, FIB）