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日本分光社製SNOMのヘッドと周辺部分です。照射モードでの測定や、様々な光学系のレイアウトに対応するため、ベース板とヘッドのホルダに改良が加えられています。
左手前に見えるのがフィードバック用のLD、左奥にフィードバック用のポジションセンサ、
右側の名刺の束の下にあるのは透過光測定用のシリコンダイオードです。 |
| ヘッド周辺部分を別な角度から写したものです。奥の正方形のCCD基板からヘッドに向かって、
伸びる長い筒は手作業で粗動アプローチする時にモニターするCCD顕微鏡です。
右側にあるのは蛍光測定用の冷却光電子増倍管です。 |
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プローブ周辺の拡大写真です。細く白く見えるのが光ファイバーでアルミの筒の先にプローブがついています。
試料台の中にレンズが組み込まれていて、コリメートされた透過光・蛍光は下の45度ミラーで
検出器へと導かれます。 |
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２次元ホログラフィック回折格子の表面形態像（topograph）を測定してみました。
図中のサイズは（X,Y,Z)=(5 micron, 5 micron, 150 nm)です。
X,Y軸の制御にフィードバックを用いていないため像が若干歪んでいるのがわかります。
Z軸方向のS/N比は悪くないので縦方向の分解能は数 nm程度は出るようです。 |