展示番号(E02)

放射光で拓くナノバイオエレクトロニクス

　軟X線という波長の短い光を照射することにより、シリコン表面がエッチングされる（削られる）ことを発見しました。波長が短いので10 nm以下の微細な加工が可能です。エッチング反応のメカニズム解明の研究のほか、光の進行方向に沿ってSiO₂が異方性エッチングができることと、エッチング後のSi表面が極めて平坦であるというユニークな特色を利用して、神経細胞（ニューロン）膜の信号伝達機能をシリコン表面に構築する研究を進めています。各種の免疫不全や精神疾患などの診断や新薬の開発に役立つ、バイオセンサーへの応用が期待されます。

極端紫外光実験棟　ビームライン　BL7U
極端紫外光科学研究系　反応動力学研究部門　宇理須恒雄教授グループ