装置開発室オープンセミナー

セミナー・イベント詳細

演　題	「LIGAプロセス−技術概要とマイクロデバイスへの応用」
日　時	2005年11月29日(火) 13:30
講演者	内海裕一助教授（兵庫県立大学　高度産業科学技術研究所）
場　所	研究棟201号室
概　要	電気的・光学的・機械的・化学的諸機能を一定の領域に集積したマイクロ構造体の実現は、小型産業機器、民生機器の主要先端部品を構成するマイクロマシン・システムの発展に多くのメリットをもたらすものと期待される。マイクロマシン・システムは、集積化半導体回路の作製技術から派生した、MEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)技術を用いて作製されているが、近年、より高い精度と高いアスペクト比を有する３次元構造体の実現が求められている。これに答える技術として、放射光Ｘ線リソグラフィ、電鋳、及び成形過程から成るLIGAプロセスが注目されている。本講演では、LIGAプロセス技術の概要と、そのデバイス適用例を紹介し、合わせて技術的課題を抽出する。さらに次世代のLIGAプロセスを予感させるいくつかの新たな試みについて紹介する。
お問合せ先	装置開発室長　宇理須恒雄

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