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セミナー・イベント詳細

演　題	「集束イオンビーム化学気相成長法を用いたナノ立体構造作製」
日　時	2007年04月25日(水) 11:00
講演者	神田一浩博士（兵庫県立大学高度産業科学技術研究所　新素材開発部門）
概　要	集束イオンビーム励起表面反応による化学気相堆積法(FIB-CVD法)では原料ガス雰囲気下でイオンビームを位置制御することにより、任意の材料で任意形状の立体ナノ構造を形成することができます。講演ではFIB-CVD法による高機能ナノ立体構造デバイス作製の原理とその具体例としてナノ立体構造を有する電子デバイス・メカニカルデバイス・光デバイス・バイオデバイスの作製とその性能について紹介します。

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